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在线式等离子清洗机
关键词：
产品特性<br> 清洗时间短，无溅射损伤和高温损伤<br>完善的故障报警功能，提示故障项目和故障工位，便于维修<br>可实现MES系统传输(选配)<br>设备参数分级管理，提高操作安全性<br>屏幕动画显示全线工作状态，运行过程实时监控<br>主要针对引线框架特性，配备自动取片、传输、送片等辅助功能<br>巧妙结构设计，解决来料料片软硬度不一致导致的传输卡料损坏问题<br>自动组件转换，可兼容不同来料片的清洗<br>高自动化，可实现同侧进出或左进右出洗料，减少人为因素影响，<br>在便于跟踪洗料效果的同时降低二次污染
关键词：
产品特性<br> 对气体分子有较高的电离和分解程度，离子密度均匀<br> 高压源和等离子体发生器互相隔离，安全因素高<br> 人性化操作界面，易操作和保养维护<br> 性能可靠，良好的互锁、故障报警和实时监控功能<br> 腔体后端安装有屏蔽系统，避免电磁辐射工艺选择性去除污染物<br> 没有内部电极，在等离子腔体内没有工作气体以外的任何物质污染源<br> 片式微波清洗、清洗效果更均匀、更柔和，没有ESD烦扰<br>
关键词：
产品特性<br> 左进右出/右进左出方式，完美实现上下游连线对接，高度自动化<br> 清洗时间短，无溅射损伤和高温损伤<br> 完善的故障报警功能，提示故障项目和故障工位，便于维修<br> 可实现MES系统传输(选配)<br> 设备参数分级管理，提高操作安全性<br> 屏幕动画显示全线工作状态，运行过程实时监控<br> 主要针对引线框架特性，配备自动取片、传输、送片等辅助功能<br> 巧妙结构设计，解决来料片软硬度不一致导致的传输卡料损坏问题<br> 自动组件转换，可兼容不同来料片的清洗
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