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AW-LP系列连续式射频等离子清洗机

产品特性
左进右出/右进左出方式，完美实现上下游连线对接，高度自动化
清洗时间短，无溅射损伤和高温损伤
完善的故障报警功能，提示故障项目和故障工位，便于维修
可实现MES系统传输(选配)
设备参数分级管理，提高操作安全性
屏幕动画显示全线工作状态，运行过程实时监控
主要针对引线框架特性，配备自动取片、传输、送片等辅助功能
巧妙结构设计，解决来料片软硬度不一致导致的传输卡料损坏问题
自动组件转换，可兼容不同来料片的清洗

所属分类：

在线式等离子清洗机

关键词：等离子清洗，射频，微波，封测

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产品参数

产品型号	AW-LP01
外形尺寸(不含报警灯塔)	L350×W350×H70(mm)
腔体尺寸	350(L)×350(W)×70(H)mm(可根据客户要求进行调整)
等离子体发生器	频率13.56MHz,功率0-600W/1000W可调，自动阻抗匹配
载盘尺寸	L200×W120×H20(mm)(可根据客户要求进行调整)
真空系统	油泵/干泵可选，进口气动角阀、充气阀，高精度真空计
气路系统	MFC质量流量计控制，气体流量0-200ml/min可调，不锈钢抛光气体管路及接口组件
控制系统	触摸屏+PLC全自动控制，手动+自动两种操作模式(可选配工控机，实现MES系统连接)
备注	可按客户需求弹性设计