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新一代微波等离子清洗机顺利发往客户现场
发布时间：
2023-04-23
微波等离子清洗技术应用及优势
无锡奥威赢最新研发的新一代微波等离子清洗机4月21日顺利发往合肥某客户现场，随着集成电路高端芯片的快速发展，其引脚密度越来越高，对清洗工艺过程中产生的静电敏感度也要求越来越严格以及对清洗洁净度的要求也水涨船高，传统的湿法清洗或13.56MHz的射频等离子清洗在一定程度上无法满足其清洗要求，微波等离子清洗工艺就应用而生，很可能成为下一代主流精密清洗工艺，相对射频等离子清洗，其具有如下优势：
- 离子浓度高，反应速度更快更均匀
- 自偏压低，对清洗器件无静电损伤
- 清洗更柔和，对清洗产品无溅射污染
欢迎新老客户来电咨询，咨询电话0510-83595266 18551045188
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