产品中心
产品特性<br> 结构紧凑，占地面积小<br> 良好的真空气密性，确保稳定的清洗效果<br> 平行/方格电极板方式，可以调整间距适应清洗工件的大小<br> 人性化操作界面，易操作和保养维护<br> 性能可靠，良好的互锁、故障报警和实时监控功能<br> 腔体后端安装有屏蔽系统，避免电磁辐射<br> 工艺选择性去除污染物<br> 可同时存储多组配方，调用即可<br> 全过程工艺可控，可在线设置、修改、监控各种工艺参数<br> 可选自动门方式，方便后续自动化连线需求
产品特性<br> 对气体分子有较高的电离和分解程度，离子密度均匀<br> 高压源和等离子体发生器互相隔离，安全因素高<br> 人性化操作界面，易操作和保养维护<br> 性能可靠，良好的互锁、故障报警和实时监控功能<br> 腔体后端安装有屏蔽系统，避免电磁辐射<br> 工艺选择性去除污染物<br> 可同时存储多组配方，调用即可<br> 全过程工艺可控，可在线设置、修改、监控各种工艺参数<br> 没有内部电极，在等离子腔体内没有工作气体以外的任何物质污染源，洁净度高<br> 可选自动门方式，方便后续自动化连线需求
产品特性<br> 结构紧凑，占地面积小<br> 简洁友好的操作界面，适合国人习惯<br> 良好的清洗效果，可媲美全自动在线等离子清洗机<br> 灵活的配置，良好的性价比<br> 适用于工厂研发线、科研实验室或对产能要求不高的工厂生产线
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