龙口AW-DP系列桌面型等离子清洗机

产品特性
多功能型模块化设计
多种腔体可选择
3.5/7寸触摸屏人机交互界面
存储50套工艺参数
方形腔体1-5层分层电极

类别：

产品描述

产品参数

产品型号	AW-DP30
外形尺寸(不含报警灯塔)	L650×W900×H750(mm)
腔体尺寸	L240×W420×H240(mm)
等离子体发生器	频率13.56MHz,功率0-300W可调，自动阻抗匹配
真空系统	油泵/干泵可选，进口气动角阀、充气阀，高精度真空计
气路系统	质量流量计控制/针阀流量计可选，不锈钢抛光气体管路及接口组件
控制系统	触摸屏+PLC全自动控制，手动+自动两种操作模式
备注	可按客户需求弹性设计