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广安AW-ZMP系列在线式微波等离子清洗机

产品特性
对气体分子有较高的电离和分解程度,离子密度均匀
高压源和等离子体发生器互相隔离,安全因素高
人性化操作界面,易操作和保养维护
性能可靠,良好的互锁、故障报警和实时监控功能
腔体后端安装有屏蔽系统,避免电磁辐射工艺选择性去除污染物
没有内部电极,在等离子腔体内没有工作气体以外的任何物质污染源
片式微波清洗、清洗效果更均匀、更柔和,没有ESD烦扰

产品描述

产品参数

外形尺寸(不含报警灯塔) L1600×W1100×H1650(mm)
腔体尺寸 L550×W320×H70(mm)
等离子体发生器 频率2 . 45GHz、功率(100~1000)W
兼容料片尺寸 长150 - 260 ( mm ) 宽30 - 80 ( mm )
真空系统 油泵/干泵可选,进口气动角阀、充气阀,高精度真空计
气路系统 MFC质量流量计控制,气体流量0-200ml/min可调,不锈钢抛光气体管路及接口组件
控制系统 触摸屏+PLC全自动控制,手动+自动两种操作模式(可选配工控机,实现MES系统连接)
备注 可按客户需求弹性设计