Yemen AW-MP系列腔体式微波等离子清洗机

产品特性
对气体分子有较高的电离和分解程度，离子密度均匀
高压源和等离子体发生器互相隔离，安全因素高
人性化操作界面，易操作和保养维护
性能可靠，良好的互锁、故障报警和实时监控功能
腔体后端安装有屏蔽系统，避免电磁辐射
工艺选择性去除污染物
可同时存储多组配方，调用即可
全过程工艺可控，可在线设置、修改、监控各种工艺参数
没有内部电极，在等离子腔体内没有工作气体以外的任何物质污染源，洁净度高
可选自动门方式，方便后续自动化连线需求

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Yemen腔体式等离子清洗机

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Product Description

产品参数

产品型号	AW-MP60
外形尺寸(含报警灯塔)	L1000×W950×H1950(mm)
腔体尺寸	L400×W400×H400(mm)
等离子体发生器	频率2 . 45GHz,功率50 - 1000W可调
电极规格	底部装有可旋转托盘，仓体右侧安装陶瓷基板，用于扩散微波
真空系统	双级真空泵，进口气动角阀、充气阀，高精度真空计
气路系统	制程气体：O2/Ar/H2,质量流量计控制，气体流量0 - 200ml/min可调，不锈钢抛光气体管路及接口组件
控制系统	触摸屏+PLC全自动控制，手动+自动两种操作模式(可选配工控机，实现MES系统连接)
备注	可按客户需求弹性设计