产品描述
产品特性
■结构紧凑，占地面积小
■良好的真空气密性，确保稳定的清洗效果
■平行式电极板方式，可以调整间距适应清洗工件的大小
■人性化操作界面，易操作及保养维护
■性能可靠，良好的互锁、故障报警和实时监控功能
■腔体后端安装有屏蔽系统，避免电磁辐射
■工艺选择性去除污染物
■可同时存储多组配方，调用即可
■全过程工艺可控，可在线设置、修改、监控各种工艺参数
| 产品型号 | AW-P100 |
| 外形尺寸（含报警灯塔） | 1000（W）×950（D）×1950(H)mm |
| 腔体尺寸 | 500（W）×500（D）×400(H)mm,不锈钢 |
| 等离子体发生器 | 频率13.56MHz，功率0-600W可调，自动阻抗匹配 |
| 电极规格 | 平行式电极，多层，单层有效面积450（W）×450（D）mm |
| 真空系统 | 德国莱宝（Leybold）真空泵，进口气动角阀、充气阀，高精度真空计 |
| 气路系统 | 标准配置2路，质量流量计控制，气体流量0-200ml/min可调，不锈钢抛光气体管路及接口组件 |
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控制系统
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触摸屏+PLC全自动控制，手动+自动两种操作模式 |
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备注
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可按客户需求弹性设计 |
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发布时间：2019-08-26 00:00:00